單向流潔凈室也被稱為層流潔凈室，其氣流是從室內送風一側平行、直線、平穩(wěn)地流向相對應的回風側，它是將室內污染源的污染物在未向室內擴散之前就被潔凈空氣壓出房間，送入的清潔空氣對污染源起隔離作用。單向流動潔凈室分為垂直流動潔凈室和水平流動潔凈室。

        垂直單向流潔凈室已廣泛用于電子產品生產所需 ISO5 級或更嚴要求的潔凈度等級的潔凈室中，現(xiàn)目前它與微環(huán)境或各種類型的隔離裝置配合使用可以滿足超大規(guī)模集成電路生產所需 ISO1 級、控制粒徑 0.1μm 甚至更嚴格的潔凈室中應用。垂直單向流無塵室結構簡單，靈活性好，易于達到嚴格的潔凈度。但建設和運營成本高。

        水平單向流潔凈室是一面?zhèn)葔M布高效過濾器送風口送風， 在相對的側墻上或潔凈室內設隔墻并在同一側隔墻或在兩側隔墻上設回風格柵（或中效器）回風。這類潔凈室的特點是：建筑層高較小，便于布置燈具，高效過濾器安裝、維修容易，但沿氣流方向的潔凈度不同，下風側空氣受上風側的設備、人員的污染等。

        單向流動潔凈室主要用于電子工業(yè)和當?shù)厣镏扑幧a地區(qū)。在生物醫(yī)藥產品生產中，主要采用層壓板或凈化臺或生物安全柜來滿足生產工藝要求。在電子工業(yè)中，微電子產品的生產或某些電子產品的生產需要有一個房間或一條生產線，甚至幾個生產工序都必須設置在100級以上的潔凈室，以滿足生產的要求。目前超大規(guī)模集成電路生產，要求微?？刂屏?0.1μm、0.05μm，達到 1 級或更高級別的要求，為此，單向流潔凈室的空間布置已從“單層”布置發(fā)展到“多層”布置。

        “單層” 布置的單向流潔凈廠房如圖  所示例， 在單向流潔凈生產區(qū)的上部、下部設有上、下技術夾層，在上技術夾層內布置送風管道、部分公用動力管線（主要包括自來水、純水、各類氣體或液體管道和電力、照明及通信線纜等），通過設在頂棚上的高效過濾器向潔凈生產區(qū)均勻送風； 通過設在下技術夾層的回風地板回風至空氣處理裝置。供應潔凈生產區(qū)所用的部分公用動力管線、設備和工藝生產用管線、設施等同層布置潔凈生產區(qū)的鄰近處。這種空間布置的靈活性較差，當產品生產工藝或產品數(shù)量擴大時，進行工藝平面布置調整較為困難，需要較長的技術改造時間，技改費用增加。 

        “多層”布置的單向流潔凈廠房，這種布置的主要特點是將潔凈生產區(qū)與供應產品生產工藝所需的各類公用動力管線、 產品生產工藝管線及設施布置在下技術夾層內，同潔凈生產區(qū)分層布置。如果工程投產后需進行生產工藝調整或產品產量擴大時，僅需將潔凈生產區(qū)的平面布置進行調整、改造，而與潔凈生產區(qū)相關的風管、公用動力管線和生產工藝管線、設施都布置在下技術夾層內，這樣可以比較方便地根據(jù)產品生產工藝調整、變化的需要進行相應的改造，技術改造的費用可以減少，所需時間也可以縮短。