1.亂流式:
空氣經(jīng)由無(wú)塵室的風(fēng)管和空氣過(guò)濾器(HEPA)通過(guò)空調(diào)箱進(jìn)入無(wú)塵室,回到無(wú)塵室或高架地板兩側(cè)兩個(gè)隔間的無(wú)塵室。氣流不是直線(xiàn)型運(yùn)動(dòng),而是不規(guī)則的湍流或渦流狀。適用于1000~100000級(jí)無(wú)塵房間。
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,系統(tǒng)成本高,易于擴(kuò)大無(wú)塵室。在一些特殊的使用場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái)來(lái)提高無(wú)塵室的水平。
缺點(diǎn):湍流引起的粉塵顆粒不易排出。此外,如果系統(tǒng)停止并重新啟動(dòng),則需要很長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到所需的清潔度。
2.層流式:
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻的直線(xiàn)形,空氣從覆蓋率100%的過(guò)濾器進(jìn)入房間,并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),這種類(lèi)型的裝配式(模塊式)潔凈室,需要使用一個(gè)高水平的環(huán)境,一般層流式無(wú)塵室等級(jí)為Class 1~100,可分為兩類(lèi):
(1)水平層流式:水平氣流通過(guò)側(cè)壁回流空氣系統(tǒng)從水平方向吹出,粉塵被風(fēng)排出。一般來(lái)說(shuō),下游的污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,運(yùn)行時(shí)間短。
缺點(diǎn):施工成本高于湍流型,室內(nèi)空間不易擴(kuò)張。
(2)垂直層流式:房間頂棚完全位于ULPA過(guò)濾器罩內(nèi)。空氣可以通過(guò)吹掃進(jìn)行清潔,可以獲得更高的潔凈度,制造過(guò)程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝?,不會(huì)影響其他工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn):易于管理。運(yùn)行后能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。不容易受到操作狀態(tài)或操作人員的影響。
缺點(diǎn):施工成本高,彈性運(yùn)用空間肖,吊頂空間大,過(guò)濾器維修更換麻煩。
3.混合類(lèi)型:
復(fù)合型即合理同時(shí)使用亂流型和層流型。可提供局部超凈空氣
(1)潔凈隧道:用HEPA或ULPA過(guò)濾器使覆蓋工藝區(qū)或工作區(qū)達(dá)到100%,使?jié)崈羲淼赖那鍧嵍忍岣叩?0級(jí)以上,節(jié)約安裝和運(yùn)行成本。
這種類(lèi)型需要將操作者的工作區(qū)域與產(chǎn)品和機(jī)器的維修分開(kāi),以避免機(jī)器維修對(duì)工作和質(zhì)量的影響。大多數(shù)ULSI工藝采用這種類(lèi)型。
潔凈隧道有兩個(gè)優(yōu)點(diǎn):
a.易彈性膨脹;
b.設(shè)備維護(hù)容易在維修區(qū)域內(nèi)進(jìn)行。
(2)清潔管:通過(guò)生產(chǎn)過(guò)程包裝和凈化自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn),提高清潔度100以上。由于產(chǎn)品與操作員之間的分離和粉塵環(huán)境,少量的空氣供應(yīng)可以得到良好的清潔、節(jié)能,沒(méi)有手動(dòng)的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)是最適合使用的。適用于制藥、食品和半導(dǎo)體行業(yè)。
(3)安裝和安裝局部潔凈點(diǎn):將裝配式(模塊式)潔凈室產(chǎn)品制造工藝區(qū)的潔凈度從裝配式(模塊式)潔凈室的10000級(jí)至100000級(jí)提高到10~1000級(jí)以上,生產(chǎn)清潔工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈空氣柜等。屬于這一類(lèi)。
潔凈臺(tái):1~100級(jí)。
潔凈工作棚:為在裝配式(模塊式)潔凈室空間無(wú)序流動(dòng)的情況下,將靜電透明的塑料圓片導(dǎo)入一個(gè)小空間,獨(dú)立的HEPA和ULPA或空調(diào)送風(fēng)單元和更高級(jí)別的裝配式(模塊式)潔凈室,水平10~1000,高度2.5米,在COV下。占地面積約10平方米,有四根柱子和車(chē)輪配備活動(dòng),可用于彈性。
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